二十一世纪以来,随着光电产业的飞速发展,可穿戴设备、柔性移动终端设备、电子皮肤、有机发光二极管等柔性器件的出现对传统电极材料提出了新的挑战。柔性透明导电薄膜由于具有高透射率和高导电性而被广泛应用于当代科学与技术的各个领域,成为材料学、半导体光电子学、生物医学等新兴交叉领域的材料基础,如图所示。电子产业权威市场调查公司IDTechEx发布的有关透明导电薄膜市场现状与未来展望调查分析报告显示:到2025年,柔性透明导电薄膜的市场规模(仅透明薄膜本身)将成长至12亿美元,柔性电子相关产业市场规模将达到近700亿美元。在柔性电子器件中,柔性透明电极不仅是必不可少的结构,也是决定柔性电子器件性能高低的关键。因此柔性透明电极的制备在光电子信息前沿领域有着重大的应用价值, “中国制造2025计划”也明确将“新一代信息技术产业”作为我国重点扶持的十大技术领域之一。
由于新时代应用需求的不断提升,柔性透明光电子器件在电极尺寸、电极兼容性等领域有了更高的要求。首先,微型光电子器件需要柔性透明电极向微米甚至纳米尺度发展,实现微纳器件结构在纳米尺度的连接与信息传输。其次,多功能、集成化的光电子器件在面向生物医学、能源再生、集成电路等不同应用需求时,要求柔性透明电极与不同性质材料(半导体、聚合物等)具有良好兼容性。因此,需要寻找一种加工技术以实现柔性透明电极对小尺寸与材料兼容性强的要求。
随着激光微纳加工技术的日新月异,飞秒激光烧蚀技术凭借其灵活可控的技术特点成为金属电极制备的潜在可行方法,主要优势有:(1)飞秒激光“冷”加工的优势,适合微小尺度加工,制备尺寸与形状均可控的金属电极;(2)非接触加工,与半导体工艺理论和工艺技术兼容,对柔性器件中的基底材料和电极材料兼容性强;(3)只需要一步烧蚀,就可将金属薄膜变为透明金属网格,在不破坏金属薄膜高导电性、延展性的基础上,可以实现柔性透明电极对高透射率与高稳定性的要求。因此,飞秒激光烧蚀技术将是未来制备超精细柔性透明金属电极的重要方式之一。